Development of low frequency, insulating thick diaphragms for power MEMS applications

Abstract : no abstract
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Sensors and Actuators A: Physical , Elsevier, 2013, 189, pp.370--379
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Contributeur : Adrien Badel <>
Soumis le : jeudi 26 mai 2016 - 18:49:27
Dernière modification le : mercredi 15 novembre 2017 - 16:24:03

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  • HAL Id : hal-01322282, version 1

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Fabien Formosa, Adrien Badel, Hugues Favreliere. Development of low frequency, insulating thick diaphragms for power MEMS applications. Sensors and Actuators A: Physical , Elsevier, 2013, 189, pp.370--379. 〈hal-01322282〉

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