Microfabrication of hybrid fluid membrane for microengines

Abstract : no abstract
Type de document :
Communication dans un congrès
PowerMEMS, 2015, Boston, CA, 1-4 December 2015, Unknown Region. IOP Publishing, pp.012048, 2015
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http://hal.univ-smb.fr/hal-01322272
Contributeur : Adrien Badel <>
Soumis le : jeudi 26 mai 2016 - 18:49:16
Dernière modification le : vendredi 6 juillet 2018 - 15:06:09

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  • HAL Id : hal-01322272, version 1

Citation

Adrien Badel, François Lanzetta, Ravinder Chutani, Fabien Formosa, Michel De Labachelerie. Microfabrication of hybrid fluid membrane for microengines. PowerMEMS, 2015, Boston, CA, 1-4 December 2015, Unknown Region. IOP Publishing, pp.012048, 2015. 〈hal-01322272〉

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